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主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數量可以增大系統的承重（***大承重可至9000磅）。 

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用***個反饋回路消除隔振系統的機械共振。

產品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩定性高，能無故障連續使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數字LED顯示屏 

隔振范圍主動:1-200Hz ;被動: >200Hz

傳輸率超過10Hz< -35 dB

模塊尺寸W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模塊重量60 KG / 132 Lbs
靜態柔度(每個模塊)
垂直方向約 12 μm / N
水平方向約 6 μm / N

系統噪聲低于50nG/√Hz

耗電量通常情況下為27 W（標配）

輸入電壓90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

控制器尺寸48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能監控通過在示波器上顯示的一個多重信號表示各傳感部位是否隔振

AVI-600長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"450kg/ 990lbs

AVI-600 Extra長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"510kg/ 1122lbs

AVI-600 Plu長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"570kg/ 1254lbs

AVI-600 Ultr長x寬x高：11.3" x 28.4" x 4.5"630kg/ 1386lbs

AVI-600 S長x寬x高：11.3" x 15.6" x 4.4"450kg/ 990lbs

兼容性：

AVI-600 work station 主動隔振臺可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。 

主動隔振臺

AVI-600 為緊湊型的主動隔振系統，是納米技術大型儀器隔振的***佳解決方案。對升***和整合到現有的需要低頻隔振功能的設備來說是理想的選擇，AVI-600 work station可自由選擇整個系統的尺寸大小和配置，通過增加隔振模塊的數量可以增大系統的承重（***大承重可至9000磅）。

工作原理

AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何科研環境下，該隔振模塊可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和豎直方向），AVI系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生***個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用***個反饋回路消除隔振系統的機械共振。

產品特點

主動隔振頻率 1Hz - 200Hz

被動隔振頻率>200Hz

5-20ms的響應時間

安裝簡單，容易使用

穩定性高，能無故障連續使用多年

緊湊、模塊化的多功能設計

控制器帶數字LED顯示屏

產品應用

SEMTEM

UHV-SPM光刻

隧道顯微鏡Fabry-Perot干涉儀

大型對振動敏感的儀器設備

性能優勢 

系統主動檢測輸入振動并動態消除

六個空間方向的自由隔振

系統內部反饋回路抑制所有機械共振

低頻隔振性能***

無低頻共振、無空氣要求